真空系统中压力和真空度测量和控制的基本概念-上海自动化仪表有限公司

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真空系统中压力和真空度测量和控制的基本概念

摘要：本文详细介绍了真空系统中压力和真空度测量和控制的基本概念已经常用的技术指标，详细介绍了模／数转换精度应压力和真空度测量分辨率的匹配，介绍了采用不同量程电容压力计进行真空度控制的最小建议范围。